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一种等离子腐蚀反应器（２０）包括反应室（２２），反应室具有接地上电极（２４）、固定到高频电源（３０）和低频电源（３２）的下电极（２８）、位于上下电极之间且可以具有浮置电位的外围电极（２６）。稀土磁体（４６，４７）用于建立磁场，用于限制反应室...
该专利属于泰格尔公司所有，仅供学习研究参考，未经过泰格尔公司授权不得商用。

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