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本实用新型公开了一种大尺寸晶圆研磨机，包括固定台，所述固定台下端的四角处均设置有支撑柱，所述固定台的上方设置有固定架，且固定架下端的两侧与固定台焊接固定，所述固定架上端的中间位置处设置有伸缩机构，所述伸缩机构的输出端设置有转动机构，所述转动...
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