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一种等离子加工装置及其电极结构，其中内介质通道（１７）形成在圆环形内电极（１１）的内周面（１２ａ）和容纳在电极（１１）中的圆环形内通道形成部件（１５）之间。圆环形第一密封部件（１８）置于电极和部件（１５）的上圆周侧面之间。圆环形第二密封部件...
该专利属于积水化学工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过积水化学工业株式会社授权不得商用。

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