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本发明一种用于产生等离子体的系统，包括：反应室；设置在所述反应室内的晶片卡盘；位于所述反应室上部和顶部的第一线圈；射频功率源，所述射频功率源输出射频电流激励所述第一线圈产生等离子体；以及设置在所述反应室下方的第二线圈。本发明的用于产生等离子...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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