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本发明涉及微波等离子体处理装置、其制造及使用方法、一体型槽形成部件，实现阻断处理室内与大气的连通的密封部件的配置合理化。微波等离子体处理装置（１００）具备将微波通过槽（３７ｂ）并进行传播的槽天线（３０）；和利用传播过槽天线（３０）的微波将规...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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