温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种可在短时间内处理工件被处理面的简单结构的等离子体处理装置。该等离子体处理装置（１）包括：具有从上端贯通到下端的中空部（４０）的第一电极（２）、用于设置工件（１０）的工件设置部（１００）、隔着工件设置部（１００）与第一电极（２）...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。