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气体处理装置及气体处理方法制造方法及图纸
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文档序号:3717687
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本发明提供一种气体处理装置,其采用将氮用作工作气体的大气压等离子体,能够热分解处理对象气体而不副产氮氧化物。对于围绕大气压等离子体P及向大气压等离子体P供给的处理对象气体F、其内部具有进行处理对象气体F的热分解的反应器22、使用氮气作为工作...
该专利属于康肯科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过康肯科技股份有限公司授权不得商用。
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