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半导体制造装置（１）包括腔室（２），气体供给装置（３），真空泵（５），电极（６），导电编织丝网（２１）和射频电源（１８）。电极６被安置在腔室之外并固定到该腔室。气体供给装置将气体提供到腔室中。真空泵对腔室进行排气。射频电源经由导电编织丝网向...
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