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一种应用于等离子体反应腔室上的射频功率源，采用频率合成或射频信号振荡器方式产生Ｎ个射频信号，并通过宽带功率放大器将该Ｎ个射频信号功率加以放大，随后分离该经过放大的信号。于是射频系统的输出是具有多种频率的射频功率。可选地，这些频率是可以切换的...
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