温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种晶圆加工装置及晶圆加工方法。该晶圆加工装置包括：晶圆固定机构，包括设置于其顶部的真空吸盘，所述真空吸盘用于吸附固定晶圆；密封盖板，其环绕所述晶圆固定机构地设置于所述真空吸盘的下方，用于密封所述晶圆固定机构；多个氮气喷嘴，设置于...
该专利属于苏州桔云科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州桔云科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。