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本发明主要包括远程等离子体源和在远程等离子体源中产生等离子体的方法。清洗气体可在远程位置被激发为等离子体并且随后提供到处理腔室。通过在冷却ＲＦ线圈外部流动清洗气体，在可高压或低压下并且将高ＲＦ偏压施加到线圈而激发等离子体。冷却ＲＦ线圈可减少...
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