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空心阴极耦合正偏压管筒内表面注入离子的装置及方法,它涉及一种管筒内表面注入离子的方法及装置。本发明解决了在较细的管筒内产生等离子体困难的问题。装置是:空心阴极管(9)的一端设置在工件管筒(10)内,高压脉冲电源(7)的正极通过低通滤波器(6...
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