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本发明目的在发生软Ｘ线的装置中抑制发热量，从而延长寿命。在本发明中，包括电子释放部即发射器和靶的除电装置中，由粒径为２ｎｍ～１００ｎｍ的钻石颗粒构成的薄膜形成在发射器的表面上。其特征在于：该薄膜在ＸＲＤ测定过程中具有钻石的ＸＲＤ图案，且进行...该专利属于高砂热学工业株式会社;樫尾计算机株式会社;日本财团法人高知县产业振兴中心所有，仅供学习研究参考，未经过高砂热学工业株式会社;樫尾计算机株式会社;日本财团法人高知县产业振兴中心授权不得商用。