下载工业用机器人和制造系统的技术资料

文档序号:37172975

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本发明提供一种在真空中输送输送对象物的工业用机器人,能提高通用性,并且能简化真空区域与大气区域的边界部分的密封构造。工业用机器人(1)具备:两个手部(8、9);臂(10),其具有分别可转动地连接手部(8、9)的两个前端侧臂部(13、14)和...
该专利属于日本电产三协株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本电产三协株式会社授权不得商用。

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