温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种构建缓存索引实现高效配置化的Wafer追溯方法，包括装舟、卸舟，所述装舟包括：(1)手臂两个爪一次抓取两个花篮一半的硅片，将两爪的硅片交叉后存入舟的奇数位或偶数位；(2)设备上报出花篮次数与WaferID；所述卸舟包括：(1...
该专利属于上海哥瑞利软件股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海哥瑞利软件股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。