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公开了一种过滤形成的纳米结构护层膜。所述过滤形成的纳米结构护层膜包括多条碳纳米纤维，所述多条碳纳米纤维随机交叉以形成呈平面定向的互连网络结构。所述互连结构在厚度处于3nm的下限到100nm的上限范围内的情况下允许至少92％的高最小EUV透射...
该专利属于琳得科美国股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过琳得科美国股份有限公司授权不得商用。

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