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一种按本发明的Ｘ射线或ＸＵＶ射线发生装置２，它装有校准装置，用于校准在目标物１６上的荷电粒子的基本粒子射线束１２。按本发明的用于偏转基本粒子射线束１２的偏转装置，使基本粒子射线束１２的中心轴线１８经过第一偏转点２０和与第一偏转点２０在射线方...
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