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本发明提供一种研磨压力修整方法、装置、计算机设备及介质，应用于气体式研磨头，包括：根据各区域的压力设定值和实际压力值确定多个特征参数；根据预测函数计算使得函数输出值最小的各区域的压力设定值，预测函数是根据各特征参数及各特征参数的权重建立的，...
该专利属于北京晶亦精微科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京晶亦精微科技股份有限公司授权不得商用。

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