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半导体结构及其形成方法技术
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文档序号:37169793
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本公开提供一种半导体结构及其形成方法,涉及半导体技术领域。该方法包括:形成第一芯片,第一芯片包括第一键合层,第一键合层包括第一键合垫;形成第二芯片,第二芯片包括第二键合层,第二键合层包括第二键合垫;形成第三键合层,第三键合层包括第三键合垫;...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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