下载掩膜盒与掩膜传送盒及其支撑件的技术资料

文档序号:3716639

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本实用新型的掩膜盒以及掩膜传送盒,是用于避免环境中微粒对掩膜造成污染,以及防止掩膜上的电荷累积所产生的静电放电破坏。此掩膜盒由两盖体所组成;其中至少一盖体上的支撑件或限制件的材料为静电消散材,此种材质可减少电荷累积,并防止静电对掩膜所造成的...
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