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本发明提供了一种承载模组及半导体清洗设备，包括：沿纵向方向平行设置的第一转盘、第二转盘和支撑部，支撑部两端端部分别连接至第一转盘和第二转盘，以及至少一个承载单元；承载单元与第一转盘和/或第二转盘枢转连接以形成平行于支撑部的枢转轴，承载单元围...
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