温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

公开了溅射装置。溅射装置包括移动衬底的衬底传输单元、布置在衬底传输单元上方并且支承靶材的背板以及布置在背板的与背板的面对衬底传输单元的第一表面相对的第二表面上的磁体，其中，背板包括第一部分和从第一部分以第一角度弯折的第二部分。第一角度弯折的...
该专利属于三星显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星显示有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。