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本发明涉及基板支撑装置用基板支撑组装体，本发明的特征在于，包括：夹头底座，支撑待处理的基板，在外周面附近，沿着周围方向形成设置收纳部，在通过设置收纳部包围的内侧部分形成向上方开放的收容槽，能够以旋转轴为中心进行旋转；夹头销，配置在夹头底座的...
该专利属于得八益十意恩至所有，仅供学习研究参考，未经过得八益十意恩至授权不得商用。

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