下载半导体结构的制作方法以及半导体结构的技术资料

文档序号:37157703

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本申请提供了一种半导体结构的制作方法以及半导体结构,该方法包括:提供第一预备基底和第二基底,第一预备基底包括第一衬底以及位于第一衬底中的凹槽;在凹槽的裸露表面上至少依次形成第一绝缘层、富陷阱层以及第二绝缘层,得到第一基底;以凹槽两侧的第一衬...
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