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本发明提供一种垂直晶体管及其制作方法，所述制作方法包括：提供一基底，于所述基底中形成至少一沟槽；在所述沟槽的内表面上沉积衬垫层；于所述沟槽的底部形成填充物；选择性地去除邻接所述填充物的一区段的所述衬垫层以显露所述沟槽的侧壁的开口；基于所述开...
该专利属于无锡华润上华科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡华润上华科技有限公司授权不得商用。

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