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基于二维半导体的固态源掺杂方法及二维半导体晶体管技术
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下载基于二维半导体的固态源掺杂方法及二维半导体晶体管的技术资料
文档序号:37156596
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本发明提供了一种基于二维半导体的固态源掺杂方法和二维半导体晶体管,该固态源掺杂方法,包括如下步骤:提供基底;在所述基底上制备二维半导体材料层;对所述二维半导体材料层远离所述基底的表面进行表面改性处理;在所述二维半导体材料层远离所述基底的表面...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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