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一种太阳电池衬底的剥离方法技术
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下载一种太阳电池衬底的剥离方法的技术资料
文档序号:37156015
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本发明公开了一种太阳电池衬底的剥离方法,上述剥离方法包括以下步骤:S1.提供一太阳电池部件,太阳电池部件包括叠加形成的衬底、牺牲层和外延层;在外延层表面的局部区域设置光刻干膜,并在外延层表面形成柔性金属衬底;去除光刻掩膜,对应的局部区域形成...
该专利属于中山德华芯片技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中山德华芯片技术有限公司授权不得商用。
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