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本发明公开了一种自动判断晶圆图谱偏移的方法，该方法包括：获取其测试晶圆的电子图谱；获取测试晶圆实物的电子图像；比较测试晶圆实物的有效范围与电子图谱的扫描范围；如果测试晶圆实物的有效范围等于电子图谱的扫描范围，采用方法1或者方法2自动判断晶圆...
该专利属于江苏芯德半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏芯德半导体科技有限公司授权不得商用。

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