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本发明公开了一种基于温等离子体喷口电弧的含氟气体降解装置及方法，基于温等离子体喷口电弧的含氟气体降解装置中，利用高压直流电源击穿载气产生温等离子体，使含氟气体进行电离分解，并与活性气体反应抑制含氟气体的复合反应。该装置包括气体控制输入系统，...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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