基于温等离子体喷口电弧的含氟气体降解装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基于温等离子体喷口电弧的含氟气体降解装置及方法，基于温等离子体喷口电弧的含氟气体降解装置中，利用高压直流电源击穿载气产生温等离子体，使含氟气体进行电离分解，并与活性气体反应抑制含氟气体的复合反应。该装置包括气体控制输入系统，控制载气、含氟气体、活性气体的输入流量；温等离子体发生器，产生直流电弧，得到的温等离子体喷流经过拉瓦尔喷口后快速冷却；尾气处理系统，产生的酸性气体产物被吸附剂吸收，并由缓冲罐连接尾气出口和循环泵，对含氟气体进行循环多次降解，待尾气检验合格后排放。待尾气检验合格后排放。待尾气检验合格后排放。

【技术实现步骤摘要】
基于温等离子体喷口电弧的含氟气体降解装置及方法


[0001]本专利技术属于气体降解
，特别是一种基于温等离子体喷口电弧的含氟气体降解装置及方法。

技术介绍

[0002]六氟化硫等含氟气体因其非常稳定的理化性质和优秀的电气绝缘特性，被广泛应用于电力开关领域，但是由于其本身具有强大的温室效应，直接排放会对环境造成很大的影响。因目前尚未找到合适的替代气体，含氟气体仍广泛应用于开关行业。同时，因为含氟气体本身的稳定的理化性质导致其很难被彻底降解，目前大部分装置只是对含氟气体进行回收净化再利用，而回收净化的气体很难满足最新的气体使用标准。因此寻求一种高效降解含氟气体的方法具有重大意义。
[0003]近年来，等离子体废气处理技术受到了广泛的关注和研究，相比于传统的热解法、光解法、催化降解等方法，等离子体废气处理技术具有降解率高、能量效率高、原理简单等优势。
[0004]目前已有将冷等离子体运用于降解含氟气体的研究。例如Kabouzi等人研究了不同微波功率，不同浓度范围下SF6降解率的变化，Son等人采用电子束放电等离子体研究了电子束辐本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于温等离子体喷口电弧的含氟气体降解装置，其特征在于，其包括：气体控制输入系统，其包括：含氟气体输入线路，其包括依次连接的含氟气体气源、气阀和质量流量计以提供含氟气体流量；活性气体输入线路，其包括依次连接的活性气体气源、气阀和质量流量计以提供活性气体流量；惰性气体输入线路，其包括依次连接的惰性气体气源、气阀和质量流量计以提供惰性气体流量；温等离子体发生器，其包括：绝缘基座；阳极，其穿设于所述绝缘基座中，所述阳极设有反应气体入口，来自含氟气体输入线路的含氟气体和来自活性气体输入线路的活性气体混合后导入所述反应气体入口；阴极，其固定连接所述绝缘基座且环绕所述阳极，所述阴极设有惰性气体入口，来自惰性气体输入线路的惰性气体导入所述惰性气体入口；陶瓷管，其穿设于所述阴极且朝向所述阳极，所述陶瓷管、阴极和阳极构成生成温等离子体的反应空间，陶瓷管设有拉瓦尔喷口；无害化处理系统，其包括：酸性气体吸附剂，其设于所述陶瓷管尾部内以吸收反应产生的酸性气体；缓冲罐，其连接所述陶瓷管，所述缓冲罐设有排放降解尾气的尾气出口；循环泵，其一端连接所述缓冲罐，另一端连接反应气体入口，以重新充入阳极进行反应。2.根据权利要求1所述的基于温等离子体喷口电弧的含氟气体降解装置，其特征在于，优选的，所述阳极的端部具有至少一个第一倾斜表面，所述阴极具有平行且相对于所述第一倾斜表面的第二倾斜表面。3.根据权利要求1所述的基于温等离子体喷口电弧的含氟气体降解装置，其特征在于，所述阳极为中空结构。4.根据权利要求1所述的基于温等离子体喷口电弧的含氟气体降解装置，其特征在于，所述阴极具有倾斜向下的环形通道，所述环形通道...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙昊，荣命哲，吴翊，郭运顺，龙虎，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：