温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种量子点层图案化的方法,包括:在基底(1)上依次形成层叠的前膜层和牺牲层(5);其中,牺牲层与前膜层中其中之一为亲水性,另一个为疏水性;在牺牲层上形成具有通孔的光刻胶(6),通孔对应目标区域,在光刻胶的遮挡下刻蚀目标区域的牺牲层;覆盖量子...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种量子点层图案化的方法,包括:在基底(1)上依次形成层叠的前膜层和牺牲层(5);其中,牺牲层与前膜层中其中之一为亲水性,另一个为疏水性;在牺牲层上形成具有通孔的光刻胶(6),通孔对应目标区域,在光刻胶的遮挡下刻蚀目标区域的牺牲层;覆盖量子...