下载一种干涉量测量机构及测量方法的技术资料

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本申请公开了一种干涉量测量机构及测量方法,涉及干涉测量技术领域。该干涉量测量机构包括压电晶体,所述压电晶体与弹性件连接,且所述压电晶体与电容测试电路电连接,所述电容测试电路用于检测所述压电晶体所形成的电场强度,以便于根据所述电场强度、压电晶...
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