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包含阶梯式结构的微电子装置和相关存储器装置、电子系统以及方法制造方法及图纸
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下载包含阶梯式结构的微电子装置和相关存储器装置、电子系统以及方法的技术资料
文档序号:37149482
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一种微电子装置包括:堆叠结构,其包括按层布置的交替的导电结构和绝缘结构,所述层个别地包括所述导电结构中的一者和所述绝缘结构中的一者;第一支撑柱结构,其在所述微电子装置的第一区域内延伸穿过所述堆叠结构,所述第一支撑柱结构与下伏于所述堆叠结构的...
该专利属于美光科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过美光科技公司授权不得商用。
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