下载芯片老化测试设备和测试工艺的技术资料

文档序号:37149446

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本申请涉及一种芯片老化测试设备和测试工艺,老化箱包括连通的测试腔室和转接腔室,转接腔室的高度比测试腔室的高度小,测试腔室和转接腔室之间设有可开闭的密封帘,转接腔室转动连接有柜门;测试组件包括底座和测试架,测试架活动安装于底座,测试架具有多个...
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