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芯片老化测试设备和测试工艺制造技术
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文档序号:37149446
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本申请涉及一种芯片老化测试设备和测试工艺,老化箱包括连通的测试腔室和转接腔室,转接腔室的高度比测试腔室的高度小,测试腔室和转接腔室之间设有可开闭的密封帘,转接腔室转动连接有柜门;测试组件包括底座和测试架,测试架活动安装于底座,测试架具有多个...
该专利属于上海安理创科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海安理创科技有限公司授权不得商用。
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