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本发明提供用于确定样品的信息的方法及系统。特定实施例涉及使用深度学习人工智能进行凸块高度3D检验及计量。例如，一个实施例包含深度学习(DL)模型，其经配置用于基于由成像子系统产生的样品的一或多个图像预测形成于所述样品上的一或多个3D结构的高...
该专利属于科磊股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科磊股份有限公司授权不得商用。

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