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感光性树脂组合物、其固化物、以及含有其固化物的布线结构体制造技术
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文档序号:37146750
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本发明提供了感光性树脂组合物、其固化物、以及含有其固化物的布线结构体、电子部件、半导体装置和相机模块。该感光性树脂组合物不是通过高温下的热处理进行固化,而是通过活性能量线的照射进行固化。在该感光性树脂组合物中,显影工序后的膜减少会被抑制。进...
该专利属于纳美仕有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过纳美仕有限公司授权不得商用。
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