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本发明提供一种图像传感器及其制作方法，所述方法包括：提供一衬底，在衬底上形成绝缘层；形成贯穿绝缘层并延伸至衬底内的深沟槽；在深沟槽的侧壁及底部填充绝缘材料形成深沟槽隔离结构，并在深沟槽内填充金属材料形成金属格栅；去除绝缘层；形成半导体材料在...
该专利属于合肥晶合集成电路股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥晶合集成电路股份有限公司授权不得商用。

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