下载坩埚组件和晶体生长装置的技术资料

文档序号:37146232

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本发明公开了一种坩埚组件和晶体生长装置,坩埚组件包括:石英坩埚具有用于盛放原料的容纳腔;石墨坩埚设于石英坩埚外,且石墨坩埚的底壁与石英坩埚的底壁间隔设置以形成间隔空间;承载组件设于间隔空间内,承载组件包括承载台,承载台设于石英坩埚的下侧,承...
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