下载硅片的连续分片机构的技术资料

文档序号:37146190

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开了一种硅片的连续分片机构,包括箱体,箱体内水平设有硅片输送机构,硅片输送机构一侧的箱体内设有与输送机构配合衔接的吸片输送机构,硅片输送机构靠近吸片输送机构一端的前后两侧的箱体内壁上设有喷头,硅片输送机构下方设有配合喷头的水压检测机...
该专利属于张家港市超声电气有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过张家港市超声电气有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。