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张家港市超声电气有限公司
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硅片的连续分片机构制造技术
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文档序号:37146190
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本申请公开了一种硅片的连续分片机构,包括箱体,箱体内水平设有硅片输送机构,硅片输送机构一侧的箱体内设有与输送机构配合衔接的吸片输送机构,硅片输送机构靠近吸片输送机构一端的前后两侧的箱体内壁上设有喷头,硅片输送机构下方设有配合喷头的水压检测机...
该专利属于张家港市超声电气有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过张家港市超声电气有限公司授权不得商用。
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