温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种ITO平面靶快速烧结脱脂的方法，属于靶材制备技术领域。该方法通过使用特殊结构的承托板承托ITO平面靶材进行烧结，并配合特定的烧结工艺，不仅可有效解决传统ITO平面靶烧结脱脂过程中耗时长且上下面温差较大的问题，同时不会造成IT...
该专利属于先导薄膜材料（广东）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料（广东）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。