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本发明提供了一种半导体材料及其制备方法、系统，属于半导体材料制备技术领域。通过特定结构的镓舟、第一管路和第二管路的设置，通过冷阱结构的设置以及真空泵的设置，在提高氮化镓晶体生产效率的同时降低了堵塞并腐蚀管路的风险，同时保证了生长质量，降低了...
该专利属于雅安宇焜芯材材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过雅安宇焜芯材材料科技有限公司授权不得商用。

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