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本发明属于化学放大光刻胶技术领域，具体涉及一种化学放大型光刻胶及其制备与使用，该光刻胶包括以下质量份的各组分：聚合物树脂25～200份，光致产酸剂0.5～30份，碱性化合物0.01～15份，流平剂0.1～20份，溶剂1250份；所述碱性化合...
该专利属于徐州博康信息化学品有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过徐州博康信息化学品有限公司授权不得商用。

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