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一种尺寸测量结构及其形成方法，其中结构包括：衬底，衬底包括监测区；位于监测区上的第一监测结构，第一监测结构包括若干相互分立的测量结构，各测量结构包括第一监测层和位于第一监测层上的第二监测层，第一监测层包括若干第一图形层和相邻第一图形层之间的...
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