下载生产单晶硅还原炉及其生产方法的技术资料

文档序号:37143226

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本发明公开了生产单晶硅还原炉及其生产方法,涉及单晶炉技术领域,包括单晶硅炉主体,所述单晶硅炉主体的底部固定套接有固定架,所述固定架顶部的一端设置有控制面板,所述单晶硅炉主体的顶部固定安装有物料箱,所述单晶硅炉主体包括防护机构和密封机构,所述...
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