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本发明属于石英晶片抛光技术领域，具体的说是一种石英晶片抛光装置及抛光方法，包括双面抛光机、储液箱、水泵、供液管、储气罐、抽气泵、一号气管和空心立杆；启动抽气泵，将储气罐内部的氩气通过一号气管和空心立杆注入储液箱的内部，将储液箱内部的空气排尽...
该专利属于湖南科鑫泰电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南科鑫泰电子有限公司授权不得商用。

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