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微元件的修复装置及修复方法制造方法及图纸
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下载微元件的修复装置及修复方法的技术资料
文档序号:37140909
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本申请提供了一种微元件的修复装置及修复方法,所述修复装置包括:加热组件,包括探针和与所述探针电连接的电源,所述电源用于在所述探针与待去除的微元件相对设置后,向所述探针施加脉冲电流,以使得所述探针加热待去除的所述微元件和驱动背板之间的键合位置...
该专利属于成都辰显光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都辰显光电有限公司授权不得商用。
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