下载微元件的修复装置及修复方法的技术资料

文档序号:37140909

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本申请提供了一种微元件的修复装置及修复方法,所述修复装置包括:加热组件,包括探针和与所述探针电连接的电源,所述电源用于在所述探针与待去除的微元件相对设置后,向所述探针施加脉冲电流,以使得所述探针加热待去除的所述微元件和驱动背板之间的键合位置...
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