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本发明提供一种在线检测金属通孔断路的测试结构和测试方法，提供掺杂的基底；基底上设有接触孔层；接触孔层上设有第一金属层；第一金属层上设有第一金属通孔层；第一金属通孔层上设有第二金属层；接触孔层包含有多个接触孔，多个接触孔与第一金属层连接；第一...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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