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公开了一种用于在衬底表面上的间隙内形成材料的多层方法。示例性方法包括形成覆盖衬底的第一材料层，并在第一材料区域内形成第二(例如初始可流动的)材料层，从而以无缝和/或无空隙的方式用材料至少部分填充间隙。无空隙的方式用材料至少部分填充间隙。无空...
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