下载半导体结构的形成方法的技术资料

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一种半导体结构的形成方法,形成方法包括:提供基底,包括衬底和鳍式结构;进行一次或多次的深宽比调整处理,在露出的鳍式结构的顶部和侧壁上形成第一伪栅层,位于鳍式结构相对侧壁上的第一伪栅层围成V型沟槽;深宽比调整处理包括:在露出的鳍式结构的顶部和...
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