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本发明的目的在于提供一种方法，通过确实地避免当例如在其上形成有阳极的衬底的表面上形成有机层时由于有机物等引起的不利影响而稳定地制造高质量有机ＥＬ器件。解决方法的特征在于用臭氧气体清洗装配有用于例如在其上形成有阳极的衬底的表面上形成有机层的有...
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